Silisyòm sonan presyon detèktè yo kanpe deyò nan jaden an nan gwo -mesi presizyon akòz prensip inik yo nan konvèsyon presyon-frekans ak karakteristik sa yo nan Silisyòm-materyèl ki baze sou. Sepandan, konpare ak lòt kalite detèktè (tankou piezoresistive, kapasitif, piezoelectric, vibre fil, elatriye), avantaj yo soti nan diferans ki genyen nan prensip teknik ak desen estriktirèl. Konparezon espesifik yo se jan sa a:
1.Avantaj Precision nan Nivo Prensip
٭ Presyon -konvèsyon frekans ak rezistans bri nannan: dirèkteman pwodiksyon siyal dijital (kantite frekans) atravè chanjman frekans nan estrikti sonorite Silisyòm, evite erè konvèsyon analòg -a-dijital, bri anplifikasyon siyal, ak pèt transmisyon fil long-detèktè kapasite (siyal piezvoltaj tradisyonèl) oswa pèt (tradisyonèl piezvoltaj) kapasite. Siyal frekans lan gen rezistans entèferans elektwomayetik trè fò (tankou rezistans nan entèferans frekans radyo nan 100V / m), ak presizyon an ka rive nan 0.01% FS (pandan ke detèktè piezoresistive tipikman gen yon presizyon nan 0.1% FS a 0.5% FS).
٭ Ekselan linearite ak repetibilite: Linearite repons frekans estrès -nan estrikti sonorite Silisyòm lan pi gran pase 0.9999, ak erè a ki pa lineyè se mwens pase 0.01% FS, byen lwen siperyè detèktè kapasitif (ak yon erè ki pa lineyè apeprè 0.1% FS) ak piezoresistive detèktè (ki kalibrasyon ki pa lineyè mande pou pòs{4}kalibrasyon).
2.Materyèl ak estabilite estriktirèl
٭ Karakteristik tanperati nan materyèl Silisyòm-: Koefisyan ekspansyon tèmik Silisyòm trè ba (2.6 × 10⁻⁶ / degre), ak modil elastik la chanje ti kras ak tanperati (chanjman an nan seri a nan -50 degre a +125 degre se mwens pase 5%). Avèk konsepsyon simetrik doub resonators (tanperati diferans konpansasyon), sansiblite tanperati a ka redwi a 1 × 10⁻⁶ / degre, sa ki pèmèt konpansasyon segondè-presizyon san yo pa bezwen detèktè tanperati adisyonèl (derive tanperati a nan detèktè piezoresistive anjeneral pi gran pase 100 × 10⁻⁶ / degre).
٭ Eta solid-ki pa gen okenn pati k ap deplase: estrikti entegre gwo bout bwa/dyafram ki fabrike pa teknoloji MEMS pa gen okenn pwoblèm nan kontak mekanik oswa aje nan sele. Pousantaj drift anyèl la se mwens pase 0.01% FS (drift anyèl la nan detèktè fil vibre se sou 0.05% FS, ak sa ki nan detèktè kapasitif se menm pi wo), fè li apwopriye pou siveyans ki estab alontèm -(pa egzanp, sistèm done atmosferik avyasyon an bezwen opere seryezman pou dè dekad).
3.Sòti dijital ak karakteristik entèlijan
٭ Dirèk pwodiksyon siyal dijital: Siyal frekans lan ka dirèkteman kolekte pa mikropwosè a san yo pa bezwen sikwi kondisyone siyal konplèks, senplifye konsepsyon sistèm lan ak diminye risk pou entwodiksyon bri (kontrèman, detèktè piezoresistive mande pou adaptasyon nan sikui ADC epi yo vilnerab a bri ekipman pou pouvwa).
٭ Kapasite kalibrasyon sou-chip pwòp tèt ou-: bati-nan MCU oswa ASIC ka reyalize pouvwa-sou pwòp tèt -tcheke ak pwòp tèt ou-kalibrasyon peryodik (tankou konpare ak frekans referans kwatz la), otomatikman korije alontèm -drift alontèm san yo pa bezwen kalibrasyon manyèl kalibrasyon tradisyonèl yo (pa bezwen kalibrasyon manyèl tradisyonèl yo).
4.Repons dinamik ak rezolisyon
٭ Segondè Q valè ak rezolisyon segondè: anbalaj vakyòm (presyon atmosferik <10⁻³Pa) bay resonatè a yon faktè bon jan kalite Q> 10,000, ak rezolisyon presyon an ka rive nan 0.001hPa (0.1Pa), ki apwopriye pou mezire ti chanjman presyon (tankou detekte wotè vètikal atmosfè a), ak rezolisyon piezoresis apeprè 1. detèktè kapasitif (ak yon rezolisyon apeprè 0.1hPa).
٭ Wide ranje dinamik: Atravè konsepsyon estriktirèl, li ka kouvri ranje ki soti nan mikwo-presyon (0 ~ 1kPa) jiska mwayen- gwo presyon (0 ~ 10MPa), epi kenbe gwo presizyon nan seri a konplè (pou detèktè tradisyonèl yo, pi laj la ranje a, se pi evidan nan diminisyon nan presizyon).
Avantaj debaz yo nan detèktè presyon sonan Silisyòm kouche nan "segondè presizyon, segondè estabilite, ak karakteristik dijital". Teknikman, sans se konvèti erè mezi presyon ki soti nan "erè nan chèn siyal analòg milti-lyen an" nan "erè nan mezi frekans sèl" atravè "silisyòm-ki baze sou estrikti sonan + presyon-konvèsyon frekans", epi reyalize repwesyon erè atravè optimize lyen konplè materyèl, estrikti, ak algoritm.